半導(dǎo)體行業(yè)用露點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備的選擇

發(fā)布日期：2024-02-20      瀏覽次數(shù)：621

半導(dǎo)體行業(yè)用露點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備的選擇

半導(dǎo)體芯片對(duì)現(xiàn)代社會(huì)的重要性不言而喻，是支持5G，物聯(lián)網(wǎng)，AI，自動(dòng)駕駛汽車，智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來(lái)越精細(xì)，更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差。反過(guò)來(lái)，這將更加依賴于監(jiān)測(cè)和控制工藝條件的傳感器和儀器性能，盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

被稱為半導(dǎo)體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)不可缺的，它參與蝕刻、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等，隨著芯片制造工藝的小型化，半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)電子氣體的純度提出了更高的要求。

在半導(dǎo)體制造中，水一直是影響較大的污染物之一，統(tǒng)計(jì)顯示，不符合工況要求的水分造成的損失占損失的 25%。為避免產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量出現(xiàn)問(wèn)題，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中必須尤為謹(jǐn)慎地監(jiān)測(cè)濕度和溫度水平。如濕度是硅晶圓生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)鍵的因素，如果空氣太干燥，靜電就會(huì)成為問(wèn)題。

氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn)，以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔?，其水分含量低?ppm，也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中， 不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量， 對(duì)濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn)。在過(guò)往，高精度的水分儀往往伴隨著高成本，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā)，在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

TK-100在線露點(diǎn)儀









特征

• 國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)、國(guó)內(nèi)制造、國(guó)內(nèi)校準(zhǔn)

• 露點(diǎn)測(cè)量范圍-100至+20℃dp

• 精度±2℃dp

• 高響應(yīng)速度

• 有競(jìng)爭(zhēng)力的定價(jià)體系

• 交貨快捷

• 完善的支持體系

• 可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

主要用途

• 手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

• 干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

• 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

• 潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

• 氣體純度控制

• 天然氣水分管理

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備

• 有機(jī)EL制造